仪器仪表工业论文_五棱镜扫描法检测大口径平行
文章目录
0 引 言
1 五棱镜扫描法检测原理分析
1.1 检测原理
1.2 五棱镜姿态对出射光束的影响
2 五棱镜扫描系统结构
2.1 五棱镜扫描系统整体结构
2.2 五棱镜扫描系统设备选用
3 误差分析
3.1 质心位置精度
3.2 五棱镜加工误差
3.3 倾斜误差
3.4 滑台角度误差
3.4.1 滑台角度误差测量原理
3.4.2 滑轨滚转角测量
3.5 误差汇总
4 五棱镜扫描法验证
5 结 论
文章摘要:基于传统的五棱镜扫描法和图像处理法设计了一台通用检测装置,该装置可以快速准确地检测口径1m以下的平行光管出射光平行性。详细分析了五棱镜姿态对装置测角精度的影响,实测了实验室Φ1m焦距30m的平行光管光束平行性,并根据测量结果进行了焦面调节,最终平行光管离焦量控制在4mm以内,装置测角精度优于1″。
文章关键词:
论文DOI:10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.05.013
论文分类号:TH74